H36设备的自动化模块AM的说法错误的是（）

A.M

B.TLL

C.PM

A.AM

B.FM

C.OM

D.DM

A.Ion Source（I/S）

B.am Line（B/L）

C.nd Station（E/S）

D.其余说法都正确

A.提高对业务的可视性

B.可靠、可用的数据

C.增加设备成本

D.提高质量

E.加强对业务的控制

A．错误

B．正确

A.0.5 MW/Y 400℃ 10-100mtorr

B.3 MW/Y 800℃ 10-100torr

C.10 MW/Y 1000℃ 10-100Pa

A.收集

B.容错

C.传输

D.加工

A.记录范围应包含运行异常、缺陷情况、上下级调度机构间通报的重要信息

B.记录范围应包含其它专业通报的重要信息、运维单位向调度机构通报的重要信息、需按值移交并提醒其它值班人员关注的重要信息

C.信息系统中的运行日志模块宜实现与缺陷管理、异常事件管理等模块的关联，减少重复录入

D.运行日志的跟进只需体现处理结果，跟进事项进度变化、闭环时可以不用在日志中记录

A.采集

B.通讯

C.维护

D.删除