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题目

[单选题]

H36设备的自动化模块AM的说法错误的是()

A.自动化AM模块中有4个单独腔室

B.LOAD和UNLOAD分别有3个FOUP

C.SM模块的作用是用来对carrier进行吹气清洁的

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第1题

H36设备中,由如下几个重要的模块组成,其中工艺腔体是如下()

A.M

B.TLL

C.PM

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第2题

调度管理系统(OMS)自动化子系统主要由自动化日志、自动化设备检修、自动化缺陷、自动化基建系统维护和自动化报表模块等组成。()
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第3题

ILS设备监控前置模块主要是一个()接收机,其功能是检测基带信号,并产生与射频信号成比例的直流电压。

A.AM

B.FM

C.OM

D.DM

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第4题

下列有关离子注入机的基本模块单元说法正确的是()

A.Ion Source(I/S)

B.am Line(B/L)

C.nd Station(E/S)

D.其余说法都正确

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第5题

自动化的好处以下说法错误的是()?()

A.提高对业务的可视性

B.可靠、可用的数据

C.增加设备成本

D.提高质量

E.加强对业务的控制

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第6题

CC08交换机中是由CCM模块完成系统全局数据的存储和处理,并负责对AM/CM中的单板管理。()

A.错误

B.正确

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第7题

厂站远动装置、自动化系统及其测控单元等自动化设备应采用冗余配置的UPS或站内直流电源供电。具备双电源模块的设备,应由不同电源供电()
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第8题

H36设备的设计产能,工艺温度,腔体压力是()

A.0.5 MW/Y 400℃ 10-100mtorr

B.3 MW/Y 800℃ 10-100torr

C.10 MW/Y 1000℃ 10-100Pa

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第9题

B-F-007 3 2 5设备信息管理模块的主要功能是利用计算机硬件、软件、网络设备通信设备以及其他自动化设备,进行设备信息的()、储存、更新和维护

A.收集

B.容错

C.传输

D.加工

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第10题

以下关于自动化运行日志说法错误的是()

A.记录范围应包含运行异常、缺陷情况、上下级调度机构间通报的重要信息

B.记录范围应包含其它专业通报的重要信息、运维单位向调度机构通报的重要信息、需按值移交并提醒其它值班人员关注的重要信息

C.信息系统中的运行日志模块宜实现与缺陷管理、异常事件管理等模块的关联,减少重复录入

D.运行日志的跟进只需体现处理结果,跟进事项进度变化、闭环时可以不用在日志中记录

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第11题

B-F-007 3 1 1设备信息管理模块的主要功能是利用计算机硬件、软件、网络设备、通信设备以及其他自动化设备,进行设备信息的收集、传输、加工、储存、更新和()

A.采集

B.通讯

C.维护

D.删除

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