光学光刻机主要有（）等几种。非光学光刻机主要有

根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？

在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的（），经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例（）后映射到硅片上，然后使用（）方法显影，得到刻在硅片上的电路图

在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的（），经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例（）后映射到硅片上，然后使用（）方法显影，得到刻在硅片上的电路图。

我国芯片设计的EDA工具、光刻机等关键制造设备、光刻胶等关键材料等均不需要依赖国外。（)

在斜视的治疗方法中，斜视的非手术疗法主要有：（)等。

光刻机在CPU制作时，用到了紫外光，它比紫光能量更

当前，生产世界上最先进的光刻机的公司ASML来自于哪个国家？该光刻机可以生产精度为10nm以下的芯片。（）

光刻机在CPU制作时，用到了紫外光，它比紫光能量更（）

汽车光学四轮定位仪主要有（)几种。